MEMS-Mikrofon

Die Mikrosystemtechnik (MST) hat viele Produktinnovationen ermöglicht, so auch miniaturisierte Mikrofone, MEMS-Mikrofone, die in Hörgeräten, Handys, Smartphones, Headsets, MP3-Playern, Freisprecheinrichtungen, Laptops und Camcordern eingesetzt werden. Im Fokus solcher mit Mikrosystemtechnik realisierbarer Entwicklungen stehen der Platzbedarf und die Herstellungskosten.


MEMS-Mikrofone gehören zu den MEMS-Sensoren. Sie arbeiten nach dem gleichen Prinzip wie andere Mikrofone und wandeln Schalldruck in elektrische Signale. Der Unterschied zwischen MEMS-Mikrofonen und traditionellen Mikrofonen besteht in der Kleinheit und dem Herstellungsprozess. Das Wandlungsprinzip kann das des Kristallmikrofons sein, oder das des Kondensatormikrofons bzw. des Elektretmikrofons. In beiden wird der Schalldruck über eine extrem dünne, mikromechanisch hergestellte Membran aufgenommen und die Bewegung piezoelektrisch oder kapazitiv in ein elektrisches Signal gewandelt. Von der Ausführung her werden MEMS-Mikrofone zusammen mit einem ASIC ( Application Specific Integrated Circuit) auf einem Keramikplättchen montiert und mit einer Schirmung gegen elektromagnetische Beeinflussung geschirmt. Je nach Konzept kann das ASIC den A/D-Wandler und Modulatoren für Stereosignale enthalten.

MEMS-Mikrofon, 
   Foto: Infineon

MEMS-Mikrofon, Foto: Infineon

Die charakteristischen Daten von MEMS-Mikrofonen sind durchaus ansprechend. Der Leistungsverbrauch liegt unter 1 mW, ihre Größe bei wenigen Millimetern, die Empfindlichkeit bei ca. -30 dBFS ( Decibel Full Scale), das Signal-Rausch-Verhältnis über 60 dB und der Klirrfaktor unter 1 %.

Informationen zum Artikel
Deutsch: MEMS-Mikrofon
Englisch: MEMS microphone
Veröffentlicht: 20.12.2012
Wörter: 201
Tags: #Mikrofone
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