MST (Mikrosystemtechnik)

Die Mikrosystemtechnik (MST), Micro Electro Mechanical System (MEMS), ist eine facettenreiche Disziplin, die in den Anfängen von der Mikroelektronik und der Mikromechanik geprägt war.


Seit diesen Anfängen hat sich die Mikrosystemtechnik zu einer Hochtechnologie entwickelt, in die alle Mikrotechniken wie die Mikrooptik und die Mikrofluidik einfließen, aber ebenso die Nanotechnologie und Informatik.

Die Mikrosystemtechnik als Disziplin verschiedener Mikrotechniken

Die Mikrosystemtechnik als Disziplin verschiedener Mikrotechniken

Ihr Anwendungsbereich tangiert alle Bereiche des täglichen Lebens, von der Medizin bis zur Automotive-Technik, von der Computertechnik bis zur Umwelttechnik, von der Haushaltstechnik bis zur Kommunikationstechnik, von der Gebäude- bis zur Verkehrstechnik.

Miniatur Elektret-Mikrofon als MEMS mit integriertem Sigma-Delta-Wandler, Foto: Akustica

Miniatur Elektret-Mikrofon als MEMS mit integriertem Sigma-Delta-Wandler, Foto: Akustica

Ob MEMS-Mikrofone und MEMS-Lautsprecher in Handys und Hörgeräten, Druckköpfe von Tintenstrahldruckern, Schreib-/Leseköpfe von Bandlaufwerken, Festplatten-, CD- oder DVD-Laufwerken, Mirasol-Display, MEMS-Speicher, Mikrospiegel in optischen Schaltern, akustische Wellenfilter, HF-Filter, HF-MEMS-Schalter, MEMS-Sensoren für Drehbewegung, Geschwindigkeit, Trägheit, Druck und Beschleunigung, Digital Light Processing (DLP) mit Mikrospiegeln, Beugungsgitter in Grating Light Valves (GLV) wie sie in Projektoren eingesetzt werden, MEMS-Resonatoren, MEMS-Aktoren für Zoom und Autofokus in Digitalkameras und Camcordern, Mikropumpen oder die optischen Sensoren in Funkmäusen, die Mikrosystemtechnik gehört zu den wichtigen Standard-Technologien der Informationstechnik.

Die Weiterentwicklung der Mikrosystemtechnik hin zu kompakteren und noch kleineren Komponenten zeigt sich in der NEMS-Technologie, Nano Electro Mechanical System (NEMS).

Informationen zum Artikel
Deutsch: Mikrosystemtechnik - MST
Englisch: micro electro mechanical system - MEMS
Veröffentlicht: 14.01.2021
Wörter: 215
Tags: Technik
Links: RF MEMS switch, Automotive-Technik, Bandlaufwerk, Camcorder (camera recorder), Digitalkamera