Nanoelektronik

Die Nanoelektronik ist eine miniaturisierte Mikroelektronik. Da der Übergang zwischen Mikroelektronik und Nanoelektronik fließend ist, gelten für integrierte Schaltungen der Nanoelektronik Strukturbreiten von 100 nm und darunter. Ihre Größe entspricht der von Smart Dust.

Strukturbreiten in der genannten Größenordnung können nicht mehr mit klaassischer DUV-Lithografie erzeugt werden, weil die Wellenlänge der Lichtquelle größer ist als die geforderte Strukturbreite. Aus diesem Grund arbeitet man mit einer speziellen Lithografie mit kurwelligem UV-Licht, der Extreme Ultraviolet Lithography (EUVL).

Arrays von SnO2-Dünnfilmsensoren. Foto: nanosystemtechnology.com

Arrays von SnO2-Dünnfilmsensoren. Foto: nanosystemtechnology.com

Als Basismaterial benutzt die Nanoelektronik Leiter und Halbleiter. Allerdings gibt es mit dem Nanoröhrchen und dem Nanodraht andere Basisbauelemente als in der Mikroelektronik. Aus diesen Basiselementen sollen aktive Nanokomponenten entstehen.

Die Nanoelektronik hat einige Vorteile gegenüber der Mikroelektronik: die Komponenten sind wesentlich kompakter, haben eine geringere Leistungsaufnahme und eine höhere Schaltgeschwindigkeit.

Informationen zum Artikel
Deutsch: Nanoelektronik
Englisch: nano electronics
Veröffentlicht: 23.02.2020
Wörter: 142
Tags: #Elektronik-Grundlagen
Links: Basismaterial, DUV (deep ultraviolet), EUVL (extreme ultraviolet lithography), Halbleiter, IC (integrated circuit)