Entwicklung der Integrationsdichte und der Strukturbreite

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Das Super Large Scale Integration (SLSI) ist eine Angabe über die Integrationsdichte von Chips. Integrierte Schaltungen (IC) in SLSI-Technologie haben zwischen einer Million (10exp6) und zehn Million (10exp7) Transistoren pro Chip. Die SLSI-Technologie wurde in den 90er-Jahren realisiert. Die Strukturbreite liegt bei 0,25 µm.