Die ständig fortschreitende Miniaturisierung hat auch mechanische Bauteile erreicht, so beispielsweise Mikroschalter, die bisher in Handys und Smartphones eingesetzt wurden und zunehmend durch HF-MEMS-Schalter ersetzt werden. Es sind kleinste, vollkommen verkapselte Schalter in Mikrosystemtechnik (MEMS), deren Schaltzungen durch statische, magnetische, piezoelektrische oder elektrothermische Kräfte bewegt werden. Sie werden in Mikrometer-Strukturen realisiert. Die Schaltzungen selbst sind freistehend und können aus leitenden Metallen wie Gold oder Aluminium sein.

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Kapazitiv arbeitender HF-MEMS-Schalter, Foto: memtronics.com

HF-MEMS-Schalter sind äußerst kompakt und platzsparend, sie sind in hybriden Wafer-basierten Verfahren aus Silizium, Verbindungshalbleitern, Polymeren und Metallen hergestellt und zeichnen sich durch geringste Einfügungsdämpfungen, die unter 0,1 dB liegen, und Längswiderständen von weniger als 1 Ohm aus. Sie haben minimale Signalverzerrungen, kürzeste Schaltzeiten von wenigen Mikrosekunden und können über mehrere hundert Millionen Schaltspiele betrieben werden. Ihre Bandbreiten erreichen durchaus 100 GHz.

Solche HF-MEMS-Schalter sparen Platz, sie können überall dort sinnvoll eingesetzt werden, wo Kapazitäten, Induktivitäten und Antennen zu- oder abgeschaltet werden müssen. So in der Messtechnik und in Testsystemen, in Handys und Systemen der Mobilfunk- und Nachrichtentechnik, in Radarsystemen und Satelliten.