Siliziumnitrid

Siliziumnitrid (Si3N4) ist ein amorphes Halbleitermaterial, das in Floating-Gates in MONOS-Flashs und in Charge-Trap-Flash (CTF), das in NAND-Flashs eingesetzt wird. Es hat gegenüber anderen Halbleitern den Vorteil, dass es nichtleitend ist und bei Lecks in der Siliziumnitrid-Schicht keine Ladungsträger abfließen.

Siliziumnitrid gehört zu den High-k-Dielektrika und hat eine Permittivität von 7, die Bandlücke beträgt 5,1 Elektronenvolt (eV). Es wird auch zur Passivierung von Solarzellen für das Rückseitenfeld, das Black Surface Field (BSF), verwendet um den Wirkungsgrad von Solarzellen zu erhöhen.

Informationen zum Artikel
Deutsch: Siliziumnitrid
Englisch: silicon nitride - Si3N4
Veröffentlicht: 06.09.2017
Wörter: 88
Tags: #Elektronik-Materialien
Links: Bandlücke, BSF (back surface field), CTF (charge trap flash), Elektronenvolt, Halbbild