MOS-Kondensator

In der Halbleiterelektronik werden Kondensatoren in MOS-Technologie aufgebaut. Sie werden in Halbleiterspeichern, Schieberegistern und CCD-Sensoren eingesetzt und bestehen aus verschiedenen Schichten aus Siliziumsubstrat, einer Oxidschicht aus Siliziumoxid und einer Metallschicht aus Aluminium. Silizium (Si) und Aluminium (Al) bilden die Elektroden des Kondensators, Siliziumoxid (SiO2) das Dielektrikum. Diese integrierten Kondensatoren werden als MOS-Kondensatoren bezeichnet.

Aufbau eines MOS-Kondensators

Aufbau eines MOS-Kondensators

Die Aluminium-Elektrode wird dabei oft als Gate bezeichnet. Anstelle von Aluminium wird auch polykristallines Silizium benutzt. Die Dicke des Dielektrikums kann je nach Anforderung nur einige Nanometer betragen.

Informationen zum Artikel
Deutsch: MOS-Kondensator
Englisch: MOS capacitor
Veröffentlicht: 04.09.2012
Wörter: 84
Tags: #Chip-Technologien
Links: CCD (charge coupled device), Dielektrikum, Elektrode, Halbleiterspeicher, Kondensator