Siliziumnitrid

Siliziumnitrid (Si3N4) ist ein amorphes Halbleitermaterial, das in Floating-Gates von MONOS-Flashs und in Charge-Trap-Flashs ( CTF) eingesetzt wird.

Siliziumnitrid hat gegenüber anderen Halbleitern den Vorteil, dass es nichtleitend ist und bei Lecks in der Siliziumnitrid- Schicht keine Ladungsträger abfließen.

Siliziumnitrid gehört zu den High-k-Dielektrika und hat eine Permittivität von 7, die Bandlücke beträgt 5,1 Elektronenvolt ( eV). Es wird auch zur Passivierung von Solarzellen für das Rückseitenfeld, das Black Surface Field ( BSF), verwendet um den Wirkungsgrad von Solarzellen zu erhöhen.

Informationen zum Artikel
Deutsch: Siliziumnitrid
Englisch: silicon nitride - Si3N4
Veröffentlicht: 07.09.2017
Wörter: 86
Tags: EK-Materialien
Links: Trap, charge trap flash (V-NAND) (CTF), Halbleiter, Schicht, High-k-Dielektrikum
Übersetzung: EN
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