RF MEMS switch

Die ständig fortschreitende Miniaturisierung hat auch mechanische Bauteile erreicht, so beispielsweise Mikroschalter, die bisher in Handys und Smartphones eingesetzt wurden und zunehmend durch HF-MEMS-Schalter ersetzt werden.


HF-MEMS-Schalter sind kleinste, vollkommen verkapselte Schalter in Mikrosystemtechnik (MST), deren Schaltzungen durch statische, magnetische, piezoelektrische oder elektrothermische Kräfte bewegt werden. Sie werden in Mikrometer-Strukturen realisiert. Die Schaltzungen selbst sind freistehend und können aus leitenden Metallen wie Gold oder Aluminium sein.

HF-MEMS-Schalter sind äußerst kompakt und platzsparend, sie sind in hybriden Wafer-basierten Verfahren aus Silizium, Verbindungshalbleitern, Polymeren und Metallen hergestellt und zeichnen sich durch geringste Einfügungsdämpfungen aus, die im On-Zustand unter 0,1 dB liegen, im Off-Zustand bei 20 dB und wesentlich höher, durch niedrigste Steuerleistungen von unter 1 nW und Längswiderständen von weniger als 1 Ohm. Sie haben minimale Signalverzerrungen, kürzeste Schaltzeiten von wenigen Mikrosekunden und können über mehrere hundert Millionen Schaltspiele betrieben werden. Ihre Bandbreiten erreichen durchaus 100 GHz.

Kapazitiv arbeitender HF-MEMS-Schalter, 
   Foto: memtronics.com

Kapazitiv arbeitender HF-MEMS-Schalter, Foto: memtronics.com

Solche HF-MEMS-Schalter sparen Platz, sie können überall dort sinnvoll eingesetzt werden, wo Kapazitäten, Induktivitäten und Antennen zu- oder abgeschaltet werden müssen. So in der Messtechnik und in Testsystemen, in Handys und Systemen der Mobilfunk- und Nachrichtentechnik, in Radarsystemen und Satelliten.

Informationen zum Artikel
Deutsch: HF-MEMS-Schalter
Englisch: RF MEMS switch
Veröffentlicht: 13.01.2013
Wörter: 203
Tags: Passive Bauelemente
Links: Antenne, Bandbreite, dB (decibel), Einfügungsdämpfung, Gigahertz