Piezo-Motore sind hochpräzise Linearmotore, die ohne bewegliche Teile, Getriebe oder mechanischer Kraftübertragung arbeiten. Es sind Kleinstkomponenten der Mikrosystemtechnik ( MST), die Bewegungen im Mikrometer- und Nanometerbereich ausführen.
Durch die begrenzte Zahl an Bauteilen können Piezo-Motoren mit wesentlich kleineren Abmessungen hergestellt werden, im Vergleich zu konventionellen Motoren, was sich letztendlich auch auf die Baugröße des fertigen Gerätes, ob Smartphone- oder Digitalkamera. Zudem fällt bei konventionellen Motoren der Wirkungsgrad rapide, wenn diese bestimmte Größen unterschreiten.
Piezo-Motore können aus einem Teil gefertigt werden und bestehen aus mehreren hintereinander liegenden Piezos, die sich ausdehnen, klemmen und zusammenziehen, und die dadurch eine Vorwärtsbewegung bewirken. Ein anderes Prinzip arbeitet mit kleinen Greifern, die sich verbiegen und verkürzen dadurch die Bewegung auslösen.
Einsatz finden Piezo-Motore in Smartphones und Digitalkameras zur Objektivsteuerung.