Microsensoren sind Kleinstsensoren von nur wenigen Millimetern Größe. Wie andere Sensoren auch, eignen Microsensoren für die Aufnahme von physikalischen und chemische Größen wie Druck, Feuchte, Temperatur, Beschleunigung, Vibration, Neigung und Gaskonzentrationen.
Microsensoren zeichnen sich aus durch ihre kompakte kleine Bauweise und vor Allem durch hervorragende Kennwerte für die Empfindlichkeit, Genauigkeit und Dynamik. Durch die Kompaktheit der Microsensoren können diese in allen technischen, umwelttechnischen und vielen medizinischen Anwendungen eingesetzt werden. Technische Anwendungen ohne den Einsatz von Microsensoren sind kaum vorstellbar.
Bei den meisten Microsensoren handelt es sich um mechanische Sensoren, wie MEMS-Sensoren oder Trägheitssensoren. Sei decken eine große Palette an physikalischen Messgrößen ab. Der andere große Einsatzbereich liegt in der Erfassung von chemischen und biochemischen Werte, wie sie in der Umwelttechnik und im Gesundheitswesen vorkommen. So bei Glukosemessungen, bei der Zusammensetzung von Gasen, der Messung von pH-Werten und vielem mehr.
Vom Aufbau her können Microsensoren konventionell in Hybridtechnik aufgebaut sein oder auch als System-on-Chip ( SoC). Bei der hybriden Bauweise wird der Sensor auf einem Substrat befestigt. Die eigentliche Schaltung ist separat und über ein Kopplungselement mit dem Sensor verbunden. Anders ist es bei der System-on-Chip-Technik. Diese Technik unterscheidet sich insofern als dass das Substrat mit dem Sensor und der elektronischen Schaltung auf der Bodenplatte des Packages besfestigt wird und in einem Arbeitsgang gefertigt wird.