Low-k-Dielektrikum

In der Halbleitertechnik werden die Dielektrika in zwei Gruppen eingeteilt, und zwar in solche deren Permittivität größer ist als die von Siliziumdioxid (SiO2) und in eine zweite Gruppe deren Dielektrizitätskonstanten unter denen von Siliziumdioxid liegen, welches eine Permittivität von 3,9 hat. Die erste Gruppe wird mit High-k-Dielektrika bezeichnet, die zweite mit Low-k-Dielektrika.

Die Permittivität von Low-k-Dielektrika liegt also unterhalb von 3,9. Ist sie kleiner als 2,4 spricht man von Ultra-Low-k. Low-k-Dielektrika werden in integrierten Schaltungen eingesetzt um die parasitären Kapazitäten zwischen den stromführenden Leiterbahnen durch eine niedrigere Dielektrizitätskonstante zu kompensieren.

Informationen zum Artikel
Deutsch: Low-k-Dielektrikum
Englisch: low-k
Veröffentlicht: 12.07.2016
Wörter: 96
Tags: EK-Grundlagen
Links: Dielektrikum, High-k-Dielektrikum, IC (integrated circuit), Kapazität, Leiterbahn