Low-k-Dielektrikum

In der Halbleitertechnik werden die Dielektrika in zwei Gruppen eingeteilt, und zwar in solche deren Permittivität größer ist als die von Siliziumdioxid ( SiO2) und in eine zweite Gruppe deren Dielektrizitätskonstanten unter denen von Siliziumdioxid liegen.

Die erste Gruppe wird mit High-k-Dielektrika bezeichnet, die zweite mit Low-k-Dielektrika. Die Permittivität von Low-k-Dielektrika liegt unter dem Referenzwert für die Permittivität von Siliziumdioxid, die 3,9 beträgt. Ist die Permittivität kleiner als 2,4, spricht man von Ultra-Low-k. Low-k-Dielektrika werden in integrierten Schaltungen eingesetzt um die parasitären Kapazitäten zwischen den stromführenden Leiterbahnen durch eine niedrigere Dielektrizitätskonstante zu kompensieren.

Informationen zum Artikel
Deutsch: Low-k-Dielektrikum
Englisch: low-k
Veröffentlicht: 05.12.2020
Wörter: 102
Tags: EK-Grundlagen
Links: Indium, Dielektrikum, Permittivität, Siliziumdioxid, Siliziumdioxid
Übersetzung: EN
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