Low-k-Dielektrikum

In der Halbleitertechnik werden die Dielektrika in zwei Gruppen eingeteilt, und zwar in solche deren Permittivität größer ist als die von Siliziumdioxid (SiO2) und in eine zweite Gruppe deren Dielektrizitätskonstanten unter denen von Siliziumdioxid liegen.

Die erste Gruppe wird mit High-k-Dielektrika bezeichnet, die zweite mit Low-k-Dielektrika. Die Permittivität von Low-k-Dielektrika liegt unter dem Referenzwert für die Permittivität von Siliziumdioxid, die 3,9 beträgt. Ist die Permittivität kleiner als 2,4, spricht man von Ultra-Low-k. Low-k-Dielektrika werden in integrierten Schaltungen eingesetzt um die parasitären Kapazitäten zwischen den stromführenden Leiterbahnen durch eine niedrigere Dielektrizitätskonstante zu kompensieren.

Informationen zum Artikel
Deutsch: Low-k-Dielektrikum
Englisch: low-k
Veröffentlicht: 05.12.2020
Wörter: 102
Tags: EK-Grundlagen
Links: Dielektrikum, High-k-Dielektrikum, Integrierte Schaltung (IS), Kapazität, Leiterbahn