Very Large Scale Integration (VLSI) ist eine Technik für integrierte Schaltungen (IC), die sich durche eine hohe Integrationsdichte auszeichnet. VLSI-Bausteine haben zehntausend (10exp4) bis einhunderttausend (10exp5) Transistoren auf einem Chip.

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Entwicklung der Integrationsdichte und der Strukturbreite

Diese Technologie, die in den 70er-Jahren beherrschbar wurde, arbeitet mit einer Strukturbreite von 5 µm bis 3 µm. Speicherbausteine und Mikroprozessoren wurden in VLSI aufgebaut.

Die Nachfolgetechnologie von VLSI ist ULSI (Ultra).