Ultra Large Scale Integration (ULSI) ist eine Angabe über die Integrationsdichte von Chips. Integrierte Schaltungen (IC) in ULSI-Technologie haben zwischen einhunderttausend (10exp5) und einer Million (10exp6) Transistoren. Die ULSI-Technologie wurde Mitte der 80er-Jahre realisiert und arbeitet mit einer Strukturbreite von 1,5 µm.

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Die Integrationsdichte von Chips

Die Vorgängertechnologie von ULSI ist Very Large Scale Integration (VLSI), die Nachfolgetechnologie ist Super Large Scale Integration (SLSI).