SOI (silicon on insulator)

Silicon on Insulator (SOI) ist eine Chip-Technologie mit einer speziellen Isolatiosnschicht aus Oxid, die die Transistoren enthält. Die einzelnen Bauelemente auf dem Chip sind durch Oxid-Isolation voneinander isoliert. Jeder einzelne Transistor eines SOI-Chips befindet sich auf einer vollständig isolierten Fläche. Zwischen den einzelnen Bauelementen sind schmale Stege, die benachbarte Bauelemente voneinander isolieren und dadurch unerwünschte gegenseitige Beeinträchtigungen verhindert.

Aufbau 
     der SOI-Technologie
Aufbau der SOI-Technologie lexikon, kompendium, computer, it, elektronik

Verfahrenstechnisch wird bei der SOI-Technik auf dem Wafer eine dünne Silizium-Oxid-Schicht (SiO2) aufgebracht, auf der sich wiederum die elektronischen Bauelemente befinden.

Die SOI-Technologie hat den Vorteil, dass sie unempfindlicher gegenüber Störstrahlungen und gegenseitige Beeinträchtigung der aktiven Bauelemente ist, als andere Chip-Technologien. Die Transistoren haben eine geringere Kapazität und können dadurch schneller geschaltet werden. Außerdem erzeugen SOI-Chips geringere Verlustleistungen.

Silicon on Insulator (SOI), Foto: IBM
Silicon on Insulator (SOI), Foto: IBM lexikon, kompendium, computer, it, elektronik

Es gibt ein SOI-Konsortium in dem sich viele Chip-Hersteller zusammengeschlossen haben. Ziel des Konsortiums ist es, die SOI-Fertigungstechnik zu promoten.

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