MOEMS (micro optical electromechanical mirror system)

Mikrospiegel (MOEMS) sind kleinste Spiegel, die mit elektrischen Feldern geschaltet werden. Es handelt sich um mikromechanische Bauelemente, die gekippt und gedreht und dadurch stark gebündelte Lichtstrahle ablenken können. Solche Mikrospiegel werden als Vermittlungskomponenten in optischen Netzen eingesetzt, heißen dort MOEMS, und schalten die Infrarotstrahlen von einem eingehenden Lichtwellenleiter auf einen ausgehenden.

DMD-Spiegel unter dem Mikroskop, Foto: Texas Instruments

Ein anderes Einsatzgebiet sind Projektoren. Für diesen Einsatzbereich gibt es einen Chip mit kippbaren Mikrospiegeln, den DMD-Chip, der in DLP-Projektoren eingesetzt wird.