Micro Optical Electromechanical Mirror System (MOEMS) ist ein Array aus kleinsten Mikrospiegeln, die mit elektrischen Feldern geschaltet werden.
Optische Mikrospiegel sind kleinste mikromechanische Bauelemente, die gekippt und gedreht werden können und stark gebündelte Lichtstrahle ablenken können. Solche Mikrospiegel werden als Vermittlungskomponenten in optischen Netzen eingesetzt, heißen dort MOEMS, und schalten die Infrarotstrahlen von einem eingehenden Lichtwellenleiter auf einen ausgehenden.
Ein anderes Einsatzgebiet sind Projektoren. Für diesen Einsatzbereich gibt es einen Chip mit kippbaren Mikrospiegeln, den Digital Micromirror Devices ( DMD), der in DLP-Projektoren (Digital Light Processing) eingesetzt wird. Als weitere Einsatzgebiete bieten sich Mikrospiegel für Mikroscanner an, beispielsweise für portable Barcode-Lesegeräte oder für die Spektroskopie.