Die Entwicklung der integrierten Schaltung (IC) war im Wesentlichen durch die Dichte der Transistoren auf einem Chip bestimmt. Da sich die Dichte im Laufe der Entwicklung um viele Zehnerpotenzen erhöht hat, hat man für die Anzahl der Bauteile auf einem Chip die Bezeichnung Large Scale Integration (LSI) eingeführt.

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Die Integrationsdichte von Chips

LSI-Bausteine haben eine Integrationsdichte von eintausend (10exp3) bis zehntausend (10exp4) Transistoren pro Chip und wurden Mitte der 60er-Jahre entwickelten. Die Strukturbreite für die LSI-Technologie lag bei 10 µm bis 50 µm. In dieser Technologie wurden Analog-Digital-Schaltungen, Speicherbausteine und Mikroprozessoren ausgeführt.

Die Nachfolgetechnologie von Large Scale Integration ist Very Large Scale Integration (VLSI).