MEMS (Mikrosystemtechnik)

Die Mikrosystemtechnik (MST) ist eine facettenreiche Disziplin, die in den Anfängen von der Mikroelektronik und der Mikromechanik geprägt war.

Die Mikrosystemtechnik als Disziplin verschiedener Mikrotechniken

Seit diesen Anfängen hat sich die Mikrosystemtechnik zu einer Hochtechnologie entwickelt, in die alle Mikrotechniken wie die Mikrooptik und die Mikrofluidik einfließen, aber ebenso die Nanotechnologie und Informatik. Ihr Anwendungsbereich tangiert alle Bereiche des täglichen Lebens, von der Medizin bis zur Automotive-Technik, von der Computertechnik bis zur Umwelttechnik, von der Haushaltstechnik bis zur Kommunikationstechnik, von der Gebäude- bis zur Verkehrstechnik.

Miniatur Elektret-Mikrofon als MEMS mit integriertem Sigma-Delta-Wandler, Foto: Akustica

Ob Herzschrittmacher oder Hörgerät, der Druckkopf von Druckern oder der Schreib-/Lesekopf von Bandlaufwerken, Festplatten-, CD- oder DVD-Laufwerken, MEMS-Speicher, Mikrospiegel in optischen Schaltern, akustische Wellenfilter, MEMS-Sensoren und -Resonatoren, Mikropumpen, Handy-Mikrofone oder die optischen Sensoren in Funk-Mäusen, die Mikrosystemtechnik gehört zu den wichtigen Standard-Technologien der Informationstechnik.