Micro Electromechanical Mirror (MEM) ist ein elektromechanisch arbeitendes Spiegelsystem, das aus mikroskopisch kleinen Spiegeln besteht, die in optischen Schalter den Lichtstrahl schalten.

<< Anzeige >>

MEMs für den Optical Crossconnect

Die Mikrospiegel, mit einem Durchmesser von etwa 10 µm, sind auf speziellen Drehzapfen gelagert und können in drei Achsen gekippt werden. Die Neigung der Mikrospiegel wird durch elektrostatische Felder verursacht, die von den Schaltlogiken erzeugt werden, die sich unterhalb der Mikrospiegel befinden.

Ein einzelner Spiegel bildet einen optischen Schalter, ein Array mit einigen hundert oder tausend Spiegeln bildet einen optischen Kreuzverteiler (OXC).

Optischer Switch mit mikroskopischem Spiegel, Foto: Lucent

Eine solche Spiegelanordnung arbeitet in einer Schutzatmosphäre, eignet sich für Raummultiplex, liegt allerdings von den Schaltzeiten her nur im Mikrosekunden-Bereich. Darüber hinaus gibt es Laufzeitunterschiede zwischen den verschiedenen Wellenlängen.

Neben dieser Anwendung in den optischen Netzen werden Mikrospiegel auch in DMD-Chips in Projektoren und in der Automotive-Technik als Sensoren eingesetzt.