In der Mikrosystemtechnik (MST) kommen neben Bauteilen aus der Mikroelektronik und der Mikromechanik auch solche aus der Mikrooptik zum Einsatz, und das im Besonderen in der optischen Übertragungstechnik, der Sensorik und bei den Digitalkameras.

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Die Mikrooptik befasst sich mit der Miniaturisierung von optischen Komponenten, von Linsen, Filtern, Spiegeln, Strahlteilern usw. und deren Herstellungsverfahren. Da bestimmte Anwendungen nur mit verkleinerten optischen Komponenten realisiert werden können, bilden mikrooptische Komponenten in monolithischer oder mikromechanischer Bauweise die Basis für kleinste optische Schaltmatrizen oder faseroptische Komponenten. Beispiele hierfür sind Mikrospiegel (MEM) für optische Schalter, optische Koppler, Phase Arrays und elektro-optische Modulatoren, darüber hinaus Mikrolinsen, die in Linsen-Arrays zur Kopplung von Lichtwellenleitern, in Handy-Kameras oder in Projektoren eingesetzt werden.