In der Halbleiterelektronik werden Kondensatoren in MOS-Technologie aufgebaut.
MOS-Kondensatoren werden in Halbleiterspeichern, Schieberegistern und CCD-Sensoren eingesetzt und bestehen aus verschiedenen Schichten aus Siliziumsubstrat, einer Oxidschicht aus Siliziumdioxid und einer Metallschicht aus Aluminium. Silizium ( Si) und Aluminium (Al) bilden die Elektroden des Kondensators, Siliziumdioxid ( SiO2) das Dielektrikum. Diese integrierten Kondensatoren werden als MOS-Kondensatoren bezeichnet.
Die Aluminium- Elektrode wird dabei oft als Gate bezeichnet. Anstelle von Aluminium wird auch polykristallines Silizium benutzt. Die Dicke des Dielektrikums kann je nach Anforderung nur einige Nanometer betragen.