Arsen (As) ist ein chemisches Element, das in der Halbleitertechnik für die Dotierung von Silizium oder Germanium benutzt wird. Mit Arsen können n-dotierte Silizium- und Germaniumschichten hergestellt werden. Arsen wird durch Diffusion oder Ionenimplantation in die Halbleiter eingebracht. Darüber hinaus auch in III-V-Verbindungshalbleitern und in Kombination mit Gallium als Galliumarsenid (GaAs) u.a. in Leuchtdioden, Fotodioden und Solarzellen eingesetzt.

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